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薄基材過(guò)濾片由于其精度和公差相對(duì)較小，且微米級(jí)的要求也高，在對(duì)工藝的追求上極具苛刻，過(guò)濾片采用的加工方式是化學(xué)腐蝕微槽與電火花線性切割加工外形，其中在打孔過(guò)程中也采用激光加工法，但線性切割和激光打孔技術(shù)上會(huì)出現(xiàn)燒焦感，產(chǎn)品的平滑度并不高，化學(xué)腐蝕法國(guó)內(nèi)的機(jī)器上會(huì)精度不高，由于化學(xué)藥劑的原因?qū)Νh(huán)境會(huì)產(chǎn)生污染，實(shí)際的現(xiàn)實(shí)問(wèn)題，想要解決在化學(xué)腐蝕過(guò)程中產(chǎn)生的精度和污染，都可以通過(guò)精度較高的國(guó)外進(jìn)口的機(jī)器，且化學(xué)藥劑可以建立新的循環(huán)環(huán)保體系，盡達(dá)到了保護(hù)環(huán)境的目的也做到了有利循環(huán)。智能汽車(chē)領(lǐng)域的油芯濾網(wǎng)就是采用蝕刻的方式。

液體過(guò)濾器是航天器雙組元推進(jìn)系統(tǒng)用于過(guò)濾液體推進(jìn)劑，采用帶有微槽的薄基材過(guò)濾片，材料厚度在0.06mm的鈦箔，表面具有花瓣形微槽，薄基材過(guò)濾片可以選擇蝕刻工藝進(jìn)行加工，蝕刻薄基材過(guò)濾片能夠滿足于0.03mm的厚度，薄基材過(guò)濾片蝕刻出來(lái)的產(chǎn)品無(wú)毛刺，表面相對(duì)光滑。